設(shè)備特點
1. 專門為帶鋸的工具涂層而設(shè)計的鍍膜機。
2. 全自動遙控門,側(cè)向打開,打開的爐門可以旋轉(zhuǎn)90°,便于從 側(cè)面進行裝卸。
3. 全自動控制系統(tǒng),操作方便,性能穩(wěn)定
4. 涂層過程的最高溫度為500°C,以確保帶鋸的物理和化學特性保持不變。
5. 9個弧源,可裝載3個不同組分的靶材,以適應(yīng)多種工具類硬質(zhì)涂層的需要。
6. 經(jīng)過PVD鍍膜的帶鋸條,可延長帶鋸使用壽命,并改善鋸切過程中的切割性能。
設(shè)備參數(shù)
真空室尺寸 |
Ф1400×H500 |
有效空間 |
Ф1200×H400 |
工件最大直徑x高度 |
Ф1200×H200 |
應(yīng)用技術(shù) |
弧源 9個+IET 2個 |
標準涂層 |
TiN,CrN, AlTiN, AlCrN,TiAlCrN,TiSiN,AlCrN,DLC, 納米藍等 |
電源 |
直流脈沖偏壓電源, 弧電源,IET 電源 |
生產(chǎn)周期 |
4-6小時/爐 |
外圍尺寸 |
L5520XW4305XH2400mm |
使用范圍 |
帶鋸條 |
應(yīng)用
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